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Draft standard
Historical
DIN EN 62047-25:2014-05
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 25: Silicon-based MEMS fabrication technology - Measurement method of pull-press and shearing strength of micro bonding area (IEC 47F/183/CD:2014)
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Summary
Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 25: Siliziumbasierte MEMS-Herstellungstechnologie - Messverfahren zur Zug-Druck- und Scherfestigkeit gebondeter Flächen im Mikrometerbereich (IEC 47F/183/CD:2014)
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 05/01/2014 |
| Cancellation Date | 04/01/2017 |
| Page Count | 38 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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