DIN 50453-2:1990-10
Superseded Standard
Historical

DIN 50453-2:1990-10

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium-dioxid coating; optical method
Most recent standard

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzrate von Ätzmischungen; Siliciumdioxid-Schichten; Optisches Verfahren

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 10/01/1990
Page Count 2
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Weight (in grams) ---
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