VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2020-02
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VDI/VDE 2655 Blatt 1.3:2020-02

Optical metrology of microtopographies - Calibration of interferometers and interference microscopes for form measurement.

Summary

Optische Messtechnik an Mikrotopografien - Kalibrieren von flächenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen für die Formmessung / Achtung: Bestätigt 2025-01

Notes

Approved 2025-01

Technical characteristics

Publisher Verein Deutscher Ingenieure e.V. (VDI)
Publication Date 02/01/2020
Page Count 50
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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