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PR NF EN IEC 63567-1 ED1 (02/2026)
Dispositifs à semiconducteurs – Évaluation des performances des composants de traitement et des équipements d’inspection pour semiconducteurs – Partie 1: Méthode d’évaluation du facteur de transmission de la pellicule EUV
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Summary
La présente partie de l’IEC 63567-1 propose une méthode de mesure du facteur de transmission de la pellicule EUV (ultraviolets extrêmes) utilisée pour la lithographie EUV (lithographie UV extrêmes) et fournit des lignes directrices sur les conditions de l’instrument de mesure du facteur de transmission utilisant l’EUV à longueur d’onde courte, ainsi que des méthodes de calcul du facteur de transmission de l’EUV.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 02/01/2026 |
| Release Date | 02/01/2026 |
| Page Count | 18 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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