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NF EN 62047-6, C96-050-6 (09/2010)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 6 : méthodes d'essais de fatigue axiale des matériaux en couche mince
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Summary
Le présent document spécifie la méthode relative à l'essai de fatigue pour une force axiale de traction-traction des matériaux en couche mince de longueur et largeur inférieures à 1 mm et d'une épaisseur comprise entre 0,1 m et 10 m dans le cadre d'une gamme de force constante ou d'une gamme de déplacement constant.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 09/01/2010 |
| Release Date | 09/01/2010 |
| Page Count | 19 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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