NF EN 62047-4 (09/2011)

Le présent document décrit des spécifications génériques pour les systèmes électromécaniques microminiaturisés (MEMS, Micro-Electro Mechanical Systems) faits à partir de semi-conducteurs, constituant la base des spécifications présentées dans d''autres parties de cette série pour différents types d''applications basées sur des MEMS, telles que des capteurs et les MEMS-RF, à l''exclusion des MEMS optiques, des bio-MEMS, des micro-TAS et des MEMS de puissance. Ce document spécifie les procédures générales d''évaluation de la qualité à utiliser dans le système IECQ-CECC et établit les principes généraux nécessaires pour décrire et tester les caractéristiques électriques, optiques, mécaniques et environnementales.