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NF EN 62047-2, C96-050-2 (11/2006)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince
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Summary
Le présent document spécifie la méthode pour les essais de traction des matériaux en couche mince d'une longueur et d'une largeur inférieure à 1 mm et d'une épaisseur inférieure à 10 micro m, qui sont des matériaux structurels principaux pour les systèmes microélectromécaniques (MEMS), micromachines et dispositifs analogues.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 11/01/2006 |
| Release Date | 11/01/2006 |
| Page Count | 15 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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