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Historical
NF EN 62047-1, C96-050-1 (09/2006)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 1 : termes et définitions
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Summary
Le présent document définit des termes pour les dispositifs microélectromécaniques en incluant le processus de production de ces dispositifs.
Technical characteristics
| Publisher | Association Française de Normalisation (AFNOR) |
| Publication Date | 09/01/2006 |
| Release Date | 09/01/2006 |
| Cancellation Date | 07/01/2026 |
| Page Count | 26 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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