DIN IEC 62047-11:2010-06
Superseded Draft standard
Historical

DIN IEC 62047-11:2010-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for linear thermal expansion coefficients of MEMS materials (IEC 47F/49/CD:2010)

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 11: Prüfverfahren für lineare thermische Ausdehnungskoeffizienten für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 47F/49/CD:2010)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 06/01/2010
Cancellation Date 04/01/2014
Page Count 24
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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