DIN EN 62047-30:2016-08
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DIN EN 62047-30:2016-08

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 30: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of MEMS piezoelectric thin film (IEC 47F/241/CD:2016)

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 30: Messverfahren für Kenngrößen der elektromechanischen Energiewandlung bei piezoelektrischen MEMS-Dünnschichten (IEC 47F/241/CD:2016)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 08/01/2016
Cancellation Date 07/01/2018
Page Count 34
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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