DIN EN 62047-28:2015-09
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DIN EN 62047-28:2015-09

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices (IEC 47F/220/CD:2015)

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 28: Prüfverfahren der Funktionsfähigkeit für schwingungsbasierte MEMS-Elektret-Bauelemente zum Energy-Harvesting (IEC 47F/220/CD:2015)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 09/01/2015
Cancellation Date 11/01/2017
Page Count 27
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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