Superseded Draft standard
Historical

DIN EN 62047-22:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates (IEC 47F/128/CD:2012)

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 22: Elektromechanisches Zug-Prüfverfahren für leitfähige Dünnschichten auf flexiblen Substraten (IEC 47F/128/CD:2012)

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 11/01/2012
Cancellation Date 04/01/2015
Page Count 14
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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