DIN EN 62047-2:2007-02
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DIN EN 62047-2:2007-02

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauteile der Mikrosystemtechnik - Teil 2: Prüfverfahren zur Zugbeanspruchung bei Dünnschicht-Werkstoffen (IEC 62047-2:2006); Deutsche Fassung EN 62047-2:2006

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 02/01/2007
Page Count 14
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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