DIN EN 62047-17:2015-12
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DIN EN 62047-17:2015-12

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 62047-17:2015); Deutsche Fassung EN 62047-17:2015

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 12/01/2015
Page Count 28
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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