DIN EN 62047-10:2012-03
Active Standard
Most Recent

DIN EN 62047-10:2012-03

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011); German version EN 62047-10:2011

Summary

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 10: Druckprüfverfahren an zylinderförmigen Mikroproben für Werkstoffe der Mikrosystemtechnik (IEC 62047-10:2011); Deutsche Fassung EN 62047-10:2011

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 03/01/2012
Page Count 13
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
No products.

Previous versions

No products.
Contact us