DIN 50457-2:1999-11
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DIN 50457-2:1999-11

Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the volume fraction of components in dopant gas mixtures by wet-chemical methods - Part 2: Phosphine in nitrogen phosphine mixtures

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Bestimmung der Komponentenanteile in Dotiergasgemischen mit Hilfe nasschemischer Verfahren - Teil 2: Phosphin in Stickstoff-Phosphin-Gemischen

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 11/01/1999
Page Count 8
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Weight (in grams) ---
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