DIN 50455-2:1999-11
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DIN 50455-2:1999-11

Testing of materials for semiconductor technology - Methods for the characterisation photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie - Verfahren zur Charakterisierung von Fotolacken - Teil 2: Bestimmung der Lichtempfindlichkeit von Positiv-Fotolacken

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 11/01/1999
Page Count 4
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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