DIN 50453-1:1990-10
Superseded Standard
Historical

DIN 50453-1:1990-10

Testing of materials for semiconductor technology; determination of etch rates of etching mixtures; silicium monocrystals; gravimetric method
Most recent standard

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung der Ätzraten von Ätzmischungen; Silicium-Einkristalle; Gravimetrisches Verfahren

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 10/01/1990
Page Count 3
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Weight (in grams) ---
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