DIN 50450-4:1993-09
Withdrawn Standard
Most Recent

DIN 50450-4:1993-09

Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C<(Index)1>-C<(Index)3>-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography

Summary

Prüfung von Materialien für die Halbleitertechnologie; Bestimmung von Verunreinigungen in Träger- und Dotiergasen; Bestimmung von C<(Index)1>-C<(Index)3>-Kohlenwasserstoffen in Stickstoff mit Gaschromatographie

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 09/01/1993
Page Count 2
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
No products.

Previous versions

No products.
Contact us