DIN 32567-5:2015-06
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DIN 32567-5:2015-06

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 5: Derivation of correction values for optical measuring devices

Summary

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 5: Ableitung von Korrekturwerten für optische Messgeräte

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 06/01/2015
Page Count 18
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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