Superseded
Draft standard
Historical
DIN 32567-4:2014-11
Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 4: Specimen for optical procedures
Preview
Summary
Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 4: Prüfkörper für optische Verfahren
Technical characteristics
| Publisher | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
| Publication Date | 11/01/2014 |
| Cancellation Date | 06/01/2015 |
| Page Count | 13 |
| EAN | --- |
| ISBN | --- |
| Weight (in grams) | --- |
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