DIN 32567-3:2012-07
Superseded Draft standard
Historical

DIN 32567-3:2012-07

Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices
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Summary

Fertigungsmittel für Mikrosysteme - Ermittlung von Materialeinflüssen auf die optische und taktile dimensionelle Messtechnik - Teil 3: Ableitung von Korrekturwerten für taktile Messgeräte

Technical characteristics

Publisher Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Publication Date 07/01/2012
Cancellation Date 10/01/2014
Page Count 30
EAN ---
ISBN ---
Weight (in grams) ---
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