| Nombre | apoyo | Revisión | Disponibilidad | Fecha de emisión | Precio | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
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PDF sécurisé |
Inglés |
Vigente |
1/3/2001 |
204,00 € |
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Detalles
The purpose of this Specification is to ensure dimensional compatibility when mounting pod identification tags and tag identification devices.
The scope of this Specification is to define:
free space at a pod to allow the mounting of a pod identification tag, and
free space to allow data transmission.
Información adicional
| Autor | Semiconductor Equipment and Materials Institute (SEMI) |
|---|---|
| Publicado por | SEMI |
| Tipo de Documento | Norma |
| Fecha de confirmación | 2019-04-01 |
