ISO TS 80004-8:2020

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ISO TS 80004-8:2020 Nanotechnologies - Vocabulaire - Partie 8: Processus de nanofabrication

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Détails

Le présent document définit une liste de termes liés aux procédés de nanofabrication dans le domaine des nanotechnologies.
Dans le présent document, tous les termes liés aux procédés se rapportent à la nanofabrication, cependant, bon nombre des procédés mentionnés ne se rapportent pas exclusivement à l'échelle nanométrique. Lorsque des termes sont non exclusifs à la nanofabrication, cela est indiqué dans leur définition. Selon que les conditions sont maîtrisables ou non, de tels procédés peuvent donner lieu à des matériaux à l'échelle nanométrique ou à de plus grandes échelles.
Il existe de nombreux autres termes qui désignent des outils, des composants, des matériaux, des méthodes de contrôle de systèmes ou des méthodes métrologiques associées à la nanofabrication, mais qui ne relèvent pas du domaine d'application du présent document.
Des termes et définitions d'autres parties de la série de normes ISO/TS 80004 sont repris dans l'Article 3 à des fins de contexte et d'une meilleure compréhension.

Informations supplémentaires

Auteur International Organization for Standardization (ISO)
Comité TC 113
Edité par ISOIEC
Type de document Norme
Edition révision n° 2
ICS 01.040.07 : Mathématiques. sciences naturelles (vocabulaires)
07.030 : Physique. chimie
07.120 : Nanotechnologie
Nombre de pages 31
Remplace ISO TS 80004-8:2013,
Historique ISO TS 80004-8:2013
Mot-clé ISO80004-8,ISO TS 80004-8:2020,ISO/TS 80004-8,TC 113