IEC 62047-37:2020

IEC 62047-37:2020

IEC 62047-37:2020 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 37: Méthodes d’essai d’environnement des couches minces piézoélectriques MEMS pour les applications de type capteur

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Détails

L’IEC 62047-37:2020 spécifie les méthodes d’essai permettant d’apprécier la durabilité des matériaux des couches minces piézoélectriques MEMS soumis à la contrainte d’environnement de température et d’humidité, à la contrainte et à la déformation mécaniques, ainsi que les conditions d’essai définissant une évaluation appropriée de la qualité. Plus spécifiquement, le présent document spécifie les méthodes et conditions d’essai permettant de mesurer la durabilité d’un DUT dans différentes conditions de température et d’humidité, et sous différentes tensions appliquées. Il applique en outre les appréciations aux propriétés liées à l’effet direct de la piézoélectricité, pour des couches minces piézoélectriques formées principalement à base de substrats de silice, c’est-à-dire les couches minces piézoélectriques utilisées comme capteurs acoustiques, ou comme capteurs de vibrations.
Le présent document ne couvre pas les évaluations de fiabilité, telles que les méthodes permettant de prévoir la durée de vie d’une couche mince piézoélectrique en se basant sur la loi de Weibull.

Informations supplémentaires

Auteur International Electrotechnical Commission (IEC)
Comité TC 47/SC 47F
Edité par IEC
Type de document Norme
Edition révision n° 1
ICS 31.080.99 : Autres dispositifs à semi-conducteurs
31.140 : Dispositifs piézo-électriques
Nombre de pages 34
Mot-clé IEC62047-37,IEC 62047-37:2020,IEC 62047-37,TC 47/SC 47F