DIN 32567-5:2015-06

DIN 32567-5:2015-06

Équipements de production pour systèmes microtechniques - Détermination de l'influence des matériaux sur la métrologie dimensionnelle optique et tactile - Partie 5: Dérivation des valeurs de correction pour les appareils de mesure d'optique

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This document specifies methods for optical topographic measurement of the layer thickness of layer systems, with different mechanical properties of layer and substrate, in order to determine systematic deviations of the measured layer thickness.

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Auteur Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN)
Edité par DIN
Type de document Norme
ICS 39.020 : Mécanique de précision
Nombre de pages 18
Historique DIN 32567-5 (2015-06),DIN 32567-5 (2014-11)
Mot-clé DIN 32567-5