| Nom | Support | Langue | Disponibilité | Date d'édition | Prix | ||
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PDF |
Allemand |
Active |
01/06/2015 |
72,80 € |
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Détails
This document specifies methods to measure the layer thickness and step height on the shape of inhomogeneous materials with a stylus, white light interference, phase-shifting interference and confocal microscopic measuring devices in order to determine systematic deviations of the measured layer thickness and step height due to material effects.
Informations supplémentaires
| Auteur | Deutsche Institut für Normung e.V. (DIN) |
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| Edité par | DIN |
| Type de document | Norme |
| ICS | 39.020 : Mécanique de précision
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| Nombre de pages | 19 |
| Historique | DIN 32567-1 (2015-06),DIN 32567-1 (2014-11) |
| Mot-clé | DIN 32567-1 |
