BS IEC 63068-4:2022

BS IEC 63068-4:2022

Semiconductor devices. Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices Procedure identifying and evaluating using a combined method optical inspection photoluminescence

250,00 €

Détails

Semiconductor devices,Silicon carbide,Defects,Inspection,Evaluation

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Auteur British Standards Institution (BSI)
Comité EPL/47 - Electrical
Edité par BSI
Type de document Norme
EAN ISBN 978 0 539 18417 4
ICS 31.080.99 : Autres dispositifs à semi-conducteurs
Nombre de pages 28
Mot-clé BS IEC 63068-4:2022